带磁控沉积的离子束刻蚀机采购国际招标公告（2）
- 项目名称： 带磁控沉积的离子束刻蚀机国际
- 范围： 2.1项目实施地点：广东省深圳市 2.2招标产品列表
- 概况： 购置带磁控沉积的离子束刻蚀机采购1套
- 报名开始时间： 2025-10-10
- 报名结束时间： 2025-10-17
项目详情
公告信息
采购项目编号：SZDL2025001521
采购项目名称：带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
采购预算金额：8000000.000000
公告内容
日期：
2025
年
10
月
10
日
招标编号：
3732-25426HW06001
（
2025SG-26HW06-0020）
日期：
2025
年
10
月
10
日
招标编号：
3732-25426HW06001（2025SG-26HW06-0020）
项目名称：带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
深圳市闪购信息科技有限公司受
深圳国际量子研究院
委托对下列产品及服务进行国际公开招标，于
2025
年
10
月
10
日
发布招标公告。本次招标采用公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1.
招标条件
1.1
项目概况：购置
带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
1套
。
1.2
资金到位或资金来源落实情况：资金已落实
1.3
项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件
2.
招标内容
2.1
项目实施地点：广东省深圳市
2.2
招标产品列表：
|
序号
|
产品名称
|
主要技术参数
|
数量
|
交货时间
|
|
1
|
带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
|
*最大样品尺寸直径6英寸，兼容4英寸 （载盘式设计）
刻蚀速率
≥ 15 nm/min（6寸晶圆，SiO2膜）
*刻蚀均匀性≤ 3 % 6寸晶圆，SiO2膜， (max - min)/(2 x mean))
*设备采用2.45GHz微波离子源
*离子束有效束径190mm
*真空腔室带HIDEN Analytical Ltd. SIMS终点检测装置，设备具有相应的法兰接口
*真空腔室带磁控溅射源接口
*工件台倾斜角度可调，调节范围0-160度，控制精度+/-0.1°
*磁控溅射源安装在腔室顶部，用于介质的镀膜工艺，做原位侧壁保护
|
1
套
|
合同生效后
52
周内
|
2.3
简要技术规格：具体详见第八章
“货物需求一览表及技术规格”。
3.
投标人资格要求
3.1
投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。
3.2
是否接受联合体投标：详见投标资料表。
3.3
未在深圳市闪购信息科技有限公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。
3.4
未在本项目投标截止时间前，在中国国际招标网（
http://www.chinabidding.com
）成功注册的投标人，不得参加投标。
4.
招标文件的领购
4.1
招标文件领购开始时间：
2025
年
10
月
10
日
（节假日除外）上午
9
时
00
分至
11
时
3
0
分，下午
13
时
30
分至
17
时
00
分（北京时间）
4.2
招标文件领购结束时间：
2025
年
10
月
17
日
17
时
00
分（北京时间）
4.3
招标文件领购地点：本项目采用线上发售招标文件方式，详见招标机构网站（
http://www.samgou.com
）
4
.4
招标文件售价：本招标文件每包售价为
1000
元人民币或
150
美元，售后不退。
5.
投标文件的递交
5.1
投标截止时间（开标时间）：
2025
年
10
月
31
日
10
时
3
0
分（北京时间）
5.2
投标文件送达地点：
深圳国际量子研究院（深圳市福田区福田保税区槟榔道
10
号深圳国际量子研究院
604
）
5
.3
开标地点：
深圳国际量子研究院（深圳市福田区福田保税区槟榔道
10
号深圳国际量子研究院
604
）
6.
发布公告的媒体
6.1
本公告同时在《中国国际招标网》、《中国招标投标公共服务平台》上发布。
投标人在投标前应在必联网（
https://www.ebnew.com
）或机电产品招标投标电子交易平台（
https://www.chinabidding.com
）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7.
联系方式
招标人：深圳国际量子研究院
地址：深圳市福田区福田保税区槟榔道
10
号
联系人：叶
老师
联系方式：
0755-88397970-8216
招标机构：
深圳市闪购信息科技有限公司
地址：深圳市南山区桃源街道学苑大道
U
创大厦东座
212
室
邮编：
518000
联系人：林福宏、林荣航、罗锦燕
电话：
0755-86564533
电子邮箱：
bid@samgoutech.com
8.
其他补充说明
8
.1
账号信息
人民币账户：
开户名称：深圳市闪购信息科技有限公司
人民币账户信息（仅接收人民币用）：
银行帐号：
8110301013600608069
（
Swift code: CIBKCNBJ518
）
开户银行：中信银行深圳香蜜湖支行
美元账户信息（仅接收美元用）：
银行帐号：
753676346502
（
Swift Code
：
BKCHCNBJ45A
）
开户行：中国银行深圳文锦渡支行
8
.2
获取招标文件的方式
8.2.1
招标文件获取方式：本项目采用线上发售招标文件方式，有意购买标书的潜在投标人，请务必于招标文件获取截止时间前在招标机构网站（
https://www.aliwork.com/o/newgysbm?uid=SG-MEIBUG-0139
）进行在线报名并获取招标文件。
8.2.
2
如有操作疑问请联系
招标机构。
深圳市闪购信息科技有限公司
2025-10-10